山东泽一真空设备有限公司十年来一直致力于设计、生产和销售干式真空泵，产品型号齐全，价格低，售后服务好。

　　干式真空泵是指泵能从大气压力下开始抽气，又能将被抽气体直接排到大气中去，泵腔内无油或其他工作介质，而且泵的ji限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。

　　干式真空泵的应用是广泛的，主要有以下几个方面：

　　1）低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；

　　2）半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；

　　3）除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微?；烊氡糜椭校Ｍ⒘Ｅ懦霰猛?，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；

　　4）在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵；

　　5）用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。