真空机组是将真空泵与相应的真空元件按其性能要求组合起来构成的抽气装置。真空机组的结构紧凑、安装使用方便。
　　真空抽气机组可分为低真空抽气机组、中真空抽气机组、高真空抽气机组、真空抽气机组、无油真空抽气机组等。真空机组的名称以主泵命名。低真空抽气机组的主要特点是工作压力高、排气量大，但抽速比高真空抽气机组低，多用于真空室的粗抽以及放气量很大、工作压力高的真空输送、真空浸渍、真空过滤、真空干燥、真空脱气等装置中。低真空抽气机组的主泵常用往复式真空泵、油封式机械泵、干式机械泵、水喷射泵、水蒸气喷射泵、水环泵等直排大气真空泵，使用低真空抽气机组，还需要根据被抽气体的清洁程度、湿度或其他特殊要求，配置必要的除尘器、水气分离器、油水分离器、干燥阱等部件。
　　油封机械泵不适于抽除含有大量水蒸气的气体。水蒸气在压缩过程中会凝结成水滴，并与泵油混合形成悬浮液，破坏泵的抽气性能使泵的真空度下降。一般采取的措施有：使用带有气镇装置的油封机械泵，并将泵的工作温度控制在75~90℃之间，以减少气镇阀负担。在机组中安装水汽分离器或油水分离装置，处理混有水的机械泵油，处理过的油再进入泵中使用；用各种干燥吸附剂或者油捕滤芯做成捕集阱吸收水蒸气；使用各种冷凝器或冷阱，不仅能有效地吸附水蒸气，同时还可以阻挡机械泵向真空室的返流。

　　为了提高真空机组的抽气性能，达到较低的上限压力和改善低入口压力时的抽速特性，对大型真空机组配用较小规格的前级泵，可以组成由两个罗茨泵串联作为主泵的三级抽气机组。

小编：ZiYu